备案项目编号 | 2405-440118*** |
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项目名称 | 晶圆级微光机电器件研发与中试平台新建项目 |
项目所在地 | 广州市增城区宁西街道***【付费会员可以查看】 |
项目总投资 | 30000万元 |
项目规模及内容 | 项目***拟建设总面积3000平方米的微光机电器件研发验证与中试熟化平台,其中超净实验室2700平方米,超算机房300平方米。平台将购置电子束光刻机、高速激光直写设备、高分辨接触式光刻机、离子束镀膜与刻蚀、ICP刻蚀等泛半导体制造设备及搭建完整的标准软件库及平台管理系统。通过四年建设,形成具有定制开发、小批量交付能力的晶圆级微光机电器件研发验证与中试熟化平台,具备快速定制化的先进制造加工能力,有力支撑广东泛半导体相关的新兴产业及未来产业的发展。 |
建设单位 | ***研究院***【付费会员可以查看】 |
备案机关 | 广州市增城区发展和改革局 |
备案申报日期 | 2024-05-28 |
复核通过日期 | 2024-05-30 |
项目起止年限 | 2024-11-01至2027-12-01 |
项目当前状态 | 办结(通过) |
建设单位(业主单位)简介:
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